全国首台国产商业化电子束光刻机在杭州诞生

摘要: 余杭发布消息，8月13日，坐落于余杭区的浙江大学校友企业总部经济园传出喜讯 全国首台国产商业化电子束光刻机已在客户现场进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在中国科 ...